球形脈沖激光沉積系統（PLD）

簡要描述：該系統為球形脈沖激光沉積系統（PLD）工藝研發設備。脈沖激光沉積（Pulsed laser deposition, PLD），就是將激光聚焦于靶材上一個較小的面積，利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發甚至電離，使其能夠脫離靶材而向基底運動，進而在基底上沉積，從而形成薄膜的一種方式。

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廠商性質：生產廠家
更新時間：2021-12-03
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品牌	其他品牌	產地類別	國產
應用領域	電子/電池

該系統為球形脈沖激光沉積系統（PLD）工藝研發設備。脈沖激光沉積（Pulsed laser deposition, PLD），就是將激光聚焦于靶材上一個較小的面積，利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發甚至電離，使其能夠脫離靶材而向基底運動，進而在基底上沉積，從而形成薄膜的一種方式。在眾多的薄膜制備方法中，脈沖激光沉積技術的應用較為廣泛，可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質薄膜，甚至還用來制備一些難以合成的材料膜，如金剛石、立方氮化物膜等。1、環境溫度：10℃～35℃
2、相對濕度：不大于75%
3、供水：水壓0.2MPa～0.4MPa,水溫15℃～25℃
4、設備周圍環境整潔，空氣清潔，不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?；驓怏w存在。

產品名稱	球形脈沖激光沉積系統（PLD）
安裝條件	1、環境溫度：10℃～35℃ 2、相對濕度：不大于75% 3、供電電源：220V、單相、50±0.5 Hz 4、設備功率：小于4KW 5、供水：水壓0.2MPa～0.4MPa,水溫15℃～25℃， 6、設備周圍環境整潔，空氣清潔，不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?；驓怏w存在。
主要參數	1、系統采用真空室為球形結構，手動前開門 2、真空室組件及配備零部件全部采用優質不銹鋼材料制造（304），氬弧焊接，表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理 3、真空腔室有效尺寸為Φ300mm,配有可視觀察窗口 4、極限真空度：≤6.67x10-5Pa (經烘烤除氣后，采用600L/S分子泵抽氣，前級采用8L/S)；系統真空檢漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；系統從大氣開始抽氣到8.0x10-4 Pa，40分鐘可達到；停泵關機12小時后真空度：≤20Pa 5、樣品臺：樣品尺寸φ40mm，轉速1-20RPM，基片臺與轉靶距離40～90mm 6、樣品加熱最高加熱溫度：800℃，溫控精度：±1°C，采用控溫表進行控溫 7、四工位轉靶：每個靶位φ40mm,擋板只露出一個靶位，激光束要求打在最上面靶位，轉靶具有公轉、自轉功能 8、真空室內設置烘烤、照明、水壓報警裝置 9、MFC一路質量流量計控制進氣：0-100sccm

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